В России появилось собственное производство сверхчистых химических соединений для микроэлектроники: на площадке в Подольске «НИИ НПО „ЛУЧ“» (входит в «Росатом») совместно с «Гиредметом» начали выпускать особо чистый красный фосфор и оксихлорид фосфора.
Это важный прорыв на пути снижения зависимости от импортных материалов в стратегически важной отрасли.
До недавнего времени Россия импортировала более 80 % материалов, необходимых для производства микрочипов. Всего таких веществ около 2,5 тысяч — среди них были и ключевые компоненты, такие как красный фосфор и оксихлорид фосфора. Современные технологии предъявляют крайне высокие требования к чистоте материалов: для процесса ионной имплантации нужен красный фосфор с содержанием основного вещества 99,9999 %. Организовать производство фосфора такой чистоты в России удалось впервые, подчеркнул директор по научным государственным программам АО «Росатом Наука» Иван Мазилин.
Производство основано на многоступенчатой технологии очистки. За основу берётся технический красный фосфор, из которого получают трихлорид фосфора. Затем вещество проходит несколько этапов глубокой очистки — и в результате вырабатывают три вида продукции: жидкий оксихлорид фосфора, жидкий триметилфосфат и гранулированный красный фосфор высокой чистоты.
Сейчас научный дивизион «Росатома» готовится к важным этапам: получению сертификата СТ‑1 (который подтверждает российское происхождение продукции) и включению новых веществ в реестр отечественной промышленной продукции.
Значение нового производства выходит за рамки микроэлектроники. Оксихлорид фосфора может найти применение в нескольких сферах: в химической промышленности (в качестве реагента или катализатора), при производстве солнечных панелей (для создания высокоэффективных фотоэлектрических элементов) и в изготовлении оптоволокна (ключевого компонента современных телекоммуникационных сетей).
Запуск производства — часть стратегии по укреплению технологического суверенитета России. Он позволит снизить зависимость от зарубежных поставок критически важных материалов, обеспечить стабильность выпуска отечественных микрочипов и создать новые компетенции в области глубокой химической очистки веществ. Кроме того, в перспективе появится возможность экспорта высокотехнологичной продукции, а доступность сверхчистых соединений даст импульс развитию смежных отраслей.
Эксперты отмечают, что подобные проекты закладывают фундамент для долгосрочного роста российской микроэлектроники и смежных отраслей: они позволяют не только заместить импорт, но и сформировать собственные технологические цепочки полного цикла — от сырья до готовой продукции.
РПХ
Фото — Атом Медиа